半導体用語集
アトミック･レイヤー･エッチング
英語表記：Atomic Layer Etching
アトミックレーヤーエッチングは、プラズマガスで表面の1層をエッチングする方法である。アトミックレーヤーエッチングは、まだ一般に広く用いられていないが、今後微細化が進むと正確なエッチング形状を得るために多く用いられると考えられる。
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