半導体用語集
ホットプレートオーブン
英語表記：hot plate oven
表面処理を施した平坦な金属プレートの上でウェーハを加熱する装置。金属プレートの下にはヒータが取り付けられる。周辺は排気孔を有していることが一般的である。
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