半導体用語集
ポリッシャ
英語表記：polisher
主としてサブシステムに用いられ純水中に残留するイオンを極限まで除去する非再生型の混床式イオン交換樹脂筒。多くの場合、イオン交換樹脂の容器（カートリッジ）ごと交換するタイプ（カートリッジポリッシャ）であるが、現場でイオン交換樹脂だけを交換するタイプも使われている。
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