半導体用語集
低圧紫外線酸化装置 TOC-UV
英語表記：ultraviolet oxidation unit with low pressure mercury lamp
低圧紫外線ランプから放射される184.9nmの紫外線により、水中の有機分子を酸化分解して有機酸や二酸化単素（CO2）に分解する装置。分解生成した有機酸やCO2は、後段のポリッシャで除去される。
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