半導体用語集
サブシステム ポリッシングシステム
英語表記：subsystem
一次純水を原水として、超純水を製造する装置。ユースポイントの近傍に設置される。システムは低圧紫外線酸化装置、カートリッジポリッシャ、圧力ろ過膜（精密ろ過膜、UF膜、RO膜）より構成される。
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