半導体用語集
MWBA
英語表記：mean wafers between asist
半導体デバイスの生産において、装置の信頼性を評価する基準のひとつ。装置がアシストとアシストの間に所定の機能を果たしている間のウェーハ生産枚数の平均値。アシスト間の平均ウェーハ処理枚数。全生産ウェーハ枚数をその間のアシスト回数で割った値。アシストとは、装置サイクルの予期しない中断の内、オペレータまたはホストコンピュータにより再開可能で、指定された消耗品以外の部品交換が無く、再開後に装置が所定の機能を果たしている状態のものをいう。すなわちCMPにおいては、研磨レートの規定値以下への低下によるパッド交換等がこれに当てはまる。また所定の機能を果たすとは、装置のアウトプットが規定値内に入っていることをいう。
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