半導体用語集
ふっ酸添加純水
英語表記：HF added pure water
5~10ppmのふっ酸添加純水。ふっ酸酸化膜除去処理した後のウェーハリンスに用いると、単なる純水使用と違いリンス中および大気保管中での自然酸化膜成長を著しく抑制できる。またふっ酸の殺菌力により純水システムにおけるバクテリア発生を防止することもできる。
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