半導体用語集
一次純水
英語表記：primary pure water
前処理装置の処理水中に存在するイオン、微粒子、微生物、有機物などの不純物をほとんど除去した高純度の水。比抵抗値5～18MΩ・cm程度の純水で、このまま使用されるケースもあるが、通常は後段に設置されるサブシステムの原水とする。なお、イオンだけを除いた低純度の水を単に脱イオン水、あるいは純水という。組立工程では比較的純度の低い純水が、切削水、洗浄水として用いられている。
関連製品
「一次純水」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「一次純水」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
