半導体用語集
前処理装置
英語表記：pretreatment equipment
一次純水装置に原水を供給する前に、あらかじめ、物理的処理、化学的処理により、原水中のコロイド状物質、粒子状物質、バクテリアなどを除去する装置。代表的なものとして凝集沈でん装置、
浮上分離装置、凝集ろ過装置、膜除濁装置などがある。
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