半導体用語集
一次純水装置 メイクアップシステム
英語表記：primary pure water system make-up system
前処理装置、一次純水装置、サブシステムより構成される超純水製造装置の中間部分。浸透装置、イオン交換装置、脱気設備などで構成される。
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