半導体用語集
マーキング光学系
英語表記：marking opptics
レーザマーカの光学系全体。レーザとビームの導入先学系及びマスク形状を作るレンズから成る光学素子。マスク、被加工物に導く出射光学系及びマスクの像を被加工物上に結ぶ結像レンズから構成される。
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