半導体用語集
ガス漏れ警報器
英語表記：gas leakage alarm
ガス漏れ検出器、受信機、警報器などから構成され、可燃性ガスや有害ガスの漏れを検出し、発報する設備。検出器は多様な方式があるが、一般に半導体製造工場で採用されているものは定電位式と拡散式、半導体式である。
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