半導体用語集
シリンダキャビネット
英語表記：cylinder cabinet
半導体製造用ガスの中で、毒性が強い、あるいは自然発火性が高いなどの危険性ガスを安全に救うために、高圧ガス容器を収納してガスを供給する装置。N2による内部パージ、ガス漏れ警報器、排気系などの機能を持つ。高圧ガス保安法で定められている。
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