半導体用語集
緊急ガス遮断装置
英語表記：emergency gas shut off system
危険性の高い半導体製造用ガスの万一の漏洩時に供給を停止する装置。ガス漏れ警報器、緊急遮断弁又は容器元弁の開閉装置よりなる。
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