半導体用語集
緊急ガス遮断装置
英語表記：emergency gas shut-off system
万が一、危険性の高い半導体製造用のガスが漏洩した時に、供給を停止する装置。ガス漏れ警報器、緊急遮断弁などの開閉装置からなる。
関連製品
「緊急ガス遮断装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「緊急ガス遮断装置」に関連する用語が存在しません。
「緊急ガス遮断装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
