半導体用語集
研磨布の粘弾性
英語表記：viscoelasticity of polishing pad
研磨布が弾性的及び粘性的な性質を合わせ持つために、応力とその応答としての歪みの間に位相差が生じる性質。研磨布はポリウレタンやポリエステルなどによって構成されるため、研磨によって荷重が与えられると高分子物質に特徴的な粘弾性挙動が発現する。粘弾性特性は一定の荷重を与えた際の、研磨布の変位量の時間変化を測定することで知ることができる。粘弾性特性には材質だけでなく、発泡構造や不織繊維構造などの独特の幾何構造も大きく影響する。粘弾性変位量の小さい研磨布を用いると高い平坦度を得ることができる。粘弾性挙動は理論的にはバネ（弾性モデル）とダッシュポッド（粘性モデル）が直列に結合したマックスエル要素と、並列に結合させた四要素モデルによって理解される。
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