半導体用語集
アルミ腐食
英語表記：aluminum corrosion
パッケージ内部に水分が吸収され，その際に水素イオンや溶存酸素などの酸化剤がパッド電極や配線部のアルミニウム表面で還元され，それと当量だけのアルミニウムがイオン化（酸化）して失われる現象で導通不良の原因となる。アルミニウムを腐食しやすい物質としては，強酸（HCI，HBr，H₂，SO₄，HF，H₃PO₄など），アルカリ（NaOHなど）などがあげられる。
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