半導体用語集

ラッピング

英語表記:lapping

と粒またはパウダと加工液(ラップ液)を混ぜたもの(スラリー)をラップ定盤と加工物の間に入れ、両者に圧力を加えながら相対運動させ、と粒の転がり、引っ掻き、粉砕等で加工物の表面を滑らかに、かつ高精度に仕上げる加工方法。



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