半導体用語集
ファイナルエナジー マグネット FEM
英語表記：final energy magnet
目的とするエネルギーだけのイオンビームを一定角度変更するための磁石。原理は分析マグネットと同様であるが、これはエネルギーコンタミネーションを除去するために設けられる。
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