半導体用語集
自動欠陥レビュー／分類 ADR／ADC
英語表記：auto defect review/ classification
ウェーハ表面に付着するパーティクルやパターン欠陥を適切な感度で検査し、サイズや形状あるいは元素情報などを総合して、欠陥の分類を行う手法。製品デバイスの歩留り低下などを評価解析し管理するために必須の技術である。
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