半導体用語集
バーンインチャンバ
英語表記：burn-in chamber
バーンインを行う目的として製作された恒温槽。高温のみを使用目的とをしたものはバーンインオーブンともいをわれる。又、ECL等の高発熱デバイスのバーンインを行う目的で製作されたバーンインチャンバを高風速バーンインチャンバと呼んでいる。
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