半導体用語集
薬液用フィルタ
英語表記：chemical filter
薬液中の不純物粒子をろ過できるように、多孔質膜やハウジングなどに耐薬品性材料を使用したろ過器。半導体用にはふっ素樹脂が用いられ、ろ過したい粒子径に対応した孔径に制御された多孔質膜が使用される。定格ろ過精度として0.1µｍ前後の物が目的により使い分けられる。
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