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半導体用語集

抜き取り検査

英語表記：sampling inspection

　抜き取り検査は，母集団から一部を抜き取って調査し，その結果を判定基準に照らして，母集団の合格，不合格を判定する検査である。半導体製品では，母集団をロット，母集団から抜き取った一部をサンプルと呼ぶ。
　抜き取り検査は，1930年代にベル研究所のDodge H.F.とRomig H.F.が最初に提案した。
　抜き取り検査は，ポアソン分布（Poisson distribution）で近似する。不良率Pのロットからn個のサンプルを抜き取り検査した結果，r個の不良が発生する確率P(r)は，サンプル数nが大きく（たとえば，n≧50），かつ不良率Pが小さい（たとえば，P≦0.1）場合に，次式（下部画像参照）となる。 ＇

　ポアソン分布は，不良数の平均nPと不良数rで構成されるので，合格判定個数c（r≦c）をパラメータとして，縦軸をP(r)，横軸をnPとした曲線がえられる。この曲線を，ソーンダイク・ハガ曲線（Thorndike-Haga curve），またはポアソン累積チャートという。
　合格判定個数cとは，不良数rがある値c以下であれば，そのロットを合格とする時の値cである。合格判定個数cをロットの判定基準ともいう。ロットからn個のサンプルを抜き取り，この時の不良数がr個の時に，r≦cならばロットは合格，r＞cならばロットは不合格となる。
　サンプル数nおよび合格判定個数cを決めると，ポアソン分布またはソーンダイク・ハガ曲線を用いて，横軸に不良率P，縦軸に不良率Pに対するロットの合格確率をとったグラフがえられる。グラフをOC曲線（Operating Characteristic curve；検査特性曲線）という。
　OC曲線は，AQL，生産者危険（α），LTPD，消費者危険（β）の4項目が重要である。4項目の意味を説明する。
(1)AQL（Acceptable Quality Level；合格品質水準）：なるべく合格としたいロットの不良率の上限
(2)生産者危険（α）：AQLと同一不良率のロットが不合格となる確率
(3)LTPD（Lot Tolerance Percent Defective；ロット許容不良率）：なるべく不合格としたいロットの不良率の下限
(4)消費者危険（β）：LTPDと同一不良率のロットが合格となる確率
　
　サンプル数nおよび合格判定個数cを決めると，OC曲線は一つに決まる。どの程度の不良率ならば，どの程度の確率でロットが合格するかが分かる。すなわち，OC曲線によって，抜き取り検査方式の性能が判断できる。

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