半導体用語集
検査
英語表記:inspection
検査は,製品または半製品,TEG(Test Element Group),装置など工程に関係するすべての要素の中から,データを取得し,おのおのの要素の完成度,安定性をモニタする。代表的な検査は,外観検査,抜き取り検査などがある。パッケージング関連では,グロスリークテスト,ファインリークテストなどのリークテストなどがある。
検査は,品質管理の手法に基づいている。品質管理は,狭義には製品の品質を管理し,製品の信頼性を保証する手法である。品質管理は,1925年頃にW. A. Shewhartが数理統計学を製品の品質管理に応用するSQC(Statistical Quality Control:統計的品質管理)として始まった。さらに,1960年頃から組織の壁をなくした部門間の協業体制によって,製品の品質管理に関係するすべてのことを取り扱うTQC(Total Quality Control;総合的品質管理)として発展した。
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