半導体用語集
検査
英語表記：inspection
検査は，製品または半製品，TEG（Test Element Group），装置など工程に関係するすべての要素の中から，データを取得し，おのおのの要素の完成度，安定性をモニタする。代表的な検査は，外観検査，抜き取り検査などがある。パッケージング関連では，グロスリークテスト，ファインリークテストなどのリークテストなどがある。
検査は，品質管理の手法に基づいている。品質管理は，狭義には製品の品質を管理し，製品の信頼性を保証する手法である。品質管理は，1925年頃にW. A. Shewhartが数理統計学を製品の品質管理に応用するSQC（Statistical Quality Control：統計的品質管理）として始まった。さらに，1960年頃から組織の壁をなくした部門間の協業体制によって，製品の品質管理に関係するすべてのことを取り扱うTQC（Total Quality Control；総合的品質管理）として発展した。
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