半導体用語集

スラリー

英語表記:slurry

SiO2系の超微粒子を純水に10~40wt%で懸濁させたコロイダルシリカとアルカリ水溶液(pH9~11)で調合した研磨剤。



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【電子デバイス用基板とCMP関連市場分析レポート2023】

グローバルネット株式会社

●CMP装置&ポリッシング・グラインディング装置、CMPスラリー&ポリッシング材、ポリッシングパッド&パッドコンディショナの市場と動向をプロセス別、基板別、メーカー別に詳細に分析している。

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