半導体用語集
スラリー
英語表記：slurry
SiO2系の超微粒子を純水に10～40wt%で懸濁させたコロイダルシリカとアルカリ水溶液（pH9~11）で調合した研磨剤。
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SurveyReports.jp
世界のSicウェーハ研磨市場は2023年に4億米ドルと評価された。同市場は2024年から2033年にかけて年平均成長率39%で拡大し、2033年末には30億米ドルを超えると予測されている。
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