半導体用語集
オーバトラベル オーバドライブ くい込み量
英語表記：over travel over drive
プローバでプローブニードルの先端がウェーハ表面に接触した後、プローブニードルの電気的接触を確実とするためにウェーハ表面を上昇させる距離。
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