半導体用語集
液浸ステッパ
英語表記：Immersion Stepper
レンズとフォトレジストの間に空気（屈折率N＝1）ではなく、水（N=1.44）を満たすことにより、NA（Numerical Aperture）が最高1.4倍向上することが期待される。フォトレジストの解像度は、NAに逆比例するので、解像度は空気の場合の70％ぐらい縮小される。レンズとフォトレジストの間に水があると、
1）泡が発生してそのパターンが投影されないか。
2）フォトレジストの成分が水に溶解し、レンズに付着しないか。
3）フォトレジストは濡れることにより悪影響がないか。
など、色々な懸念があったが、全て解決され、液浸ステッパは生産に導入されている。
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