半導体用語集
カセットトランスファ
英語表記：cassette transfer
複数の縦型反応管を一列に並べて、自動化した装置の一端からカセットを反応管列にっそって移動（搬送）し、各反応管に設置されたウェーハ自動移載装置に対してカセットの受渡しをする装置。
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