半導体用語集

カセットトランスファ

英語表記:cassette transfer

複数の縦型反応管を一列に並べて、自動化した装置の一端からカセットを反応管列にっそって移動(搬送)し、各反応管に設置されたウェーハ自動移載装置に対してカセットの受渡しをする装置。


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