半導体用語集
アライメントオフセット
英語表記：alignment offset
ウェーハ上の数箇所のアラインメントマークの相対的位置計測値を、一定誤差値とに分離して計算した時の、一定の位置誤差値を言い、これを各アライメント時に補正値として扱う。
関連製品
「アライメントオフセット」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「アライメントオフセット」に関連する用語が存在しません。
「アライメントオフセット」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
