半導体用語集
クラスタツール
英語表記：cluster tool
異なる装置メーカの設備、若しくは異なるプロセスの結合、また半導体デバイスメーカ独自のプロセスモジュールの組込みなどを可能にするマルチチャンバ製造装置。米国半導体製造装置メーカを中心とした団体MESA（Modular Equipment Standard Architecture）が提唱したっもの。
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