半導体用語集
クロスコンタミネーション
英語表記：cross contamination
イオン注入装置の構成材料による汚染。ウェーハ保持及びウェーハ近傍の金属製部品などがイオンビームによりスパッタされてウェーハ内部に導入されたものをいう。同一装置内の一連の異種プロセス間で、それぞれのプロセスの使用ガス、生成物が他のプロセス環境を汚染すること。クラスタツールの普及に伴いこの意味合いの使い方が増えている。
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