半導体用語集
ボート
英語表記：boat
ウェーハを反応管内へ挿入及び引き出しする時に使用する治具。通常は、高純度の石英又は、SiCを加工して作られる。このボートの溝に25～200枚程度のウェーハをセットして処理を行う。一体形成したものをラダーボートと呼ぶことがある。これに対して組み立てボートもある。
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