半導体用語集
TEG
英語表記：test elementary group
プロセスおよびデバイスの評価や管理を行うためのテストパターン。TEGの使用目的には、量産ラインにおける工程モニタと開発段階におけるプロセス、デバイス、デザインルールの評価モニタの2種類がある。TEGはその目的によってプロセスTEG、デバイスTEG、回路TEGに分けられる。プロセスTEGはパターン形状、配線、コンタクトなどの評価に用いる。デバイスTEGはデバイス性能、特性の評価に用いる。回路TEGはメモリーセル、ユニットセルなどの部分回路評価に用いる。TEGの設計は、各社が素子に合わせて独自に設計する場合が多いが、標準化して、プロセス、デバイス性能の比較評価に用いる場合もある。
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