半導体用語集
マスク・ブランクス
英語表記：Mask Brancks
マスクは透明な石英基板上に遮光膜をつけたものである。現在一般に用いられる石英は6025型と呼ばれ、サイズは6.0×6.0×0.25インチ、即ち152×152×6.3mmで、厚さは6.22～6.48mmと厚い。遮光膜は次の2種類が用いられる。
1）バイナリーマスク；クロムミウム（Cr）をスパッタ。
2）ハーフトーンマスク；モリブデン・シリサイド（MoSi）
通常、ブランクス・メーカーからレジストを塗布した状態でマスク・メーカーに納められる。参考までに；FPD（Flat Panel Display）の大型マスクでも石英基板が用いられている。寸法精度が厳しくない用途には、低膨張ガラスが用いられたり、プリント基板用にはポリエステルが用いられる。
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