半導体用語集
基板
英語表記：substrate
処理対象となるマスクブランク、ウェーハなどの材料の総称。
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ご講演者：西田 秀行 氏（NEP Tech S&S）、乃万 裕一氏（株式会社レゾナック）、森川 泰宏 氏（株式会社アルバック）、佐藤 仁 氏（株式会社オーク製作所）
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