半導体用語集
基板
英語表記：substrate
処理対象となるマスクブランク、ウェーハなどの材料の総称。
関連製品
エピタキシャル成長したSi0.7Ge0.3およびSi 薄膜におけるH2希釈CF4ガスによるドライエッチング ? 基板温度依存性?
グローバルネット株式会社
名大院工、尾崎 孝太朗
自治体・省庁・研究機関・団体 › 応用物理学会
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
