半導体用語集
スタックトレンチセル
英語表記：stacked trench cell
基本的にはスタックセルであるが、絶縁膜が形成されたシリコン基板中の溝の中にスタックドキャパシタを設けられるように配置することで、スタックドキャパシタの上端部を低くでき、表面の平坦化が容易で、周辺コンタクトも浅くできるという利点がある。一方、製造工程は、スタックドキャパシタの製造工程に加え、トレンチの製造工程が必要になるので製造工程が長くなるといった問題がある。また素子の微細化に伴い、トレンチの幅が狭くなると、この中にキャパシタ構造を作り込むことが困難になるといった問題がある。
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