半導体用語集
レーザビームテストシステム レーザビームプローバ
英語表記：laser beam test system laser beam prober
半導体デバイスの表面にレーザビームを照射することによって外部端子に現われるOBIC（光励起電流）により被測定デバイス内の内部の動作解析を行う装置。
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