半導体用語集
PSA
英語表記：pressure swing adsorption
吸着材を用い、圧力変動吸着により大気中の窒素または酸素成分を選択的に濃縮分離する装置。本装置から供給される窒素ガスの純度は99.9～99.99％程度であり、主に半導体製造の後工程用雰囲気ガスとして使用される。
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