半導体用語集
P偏光 ブルースター角入射測定方 PPB
英語表記：infrared absorption spectroscopy with P-polarized radiation at Brewster angle
Siウエーハ中の酸素濃度を赤外線吸収法で測定するとき、赤外P偏光を、ブルースター角でSiウェーハに入射することにより、ウエーハ中の格子間酸素濃度を測定する技術。半導体デバイス用Siウエーハは、通常片面鏡面研磨の数百ミクロン厚さの薄いもので、従来の垂直入射赤外透過法では、入射光がウエーハ内で多重反射し、測定精度が得られなかった。本測定法では、片面鏡面研磨ウェーハのままで酸素濃度を高精度で測定が可能になった。
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