半導体用語集
チャックテーブル
英語表記：chuck table
ウェーハ等、加工物を加工時に固定する台のこと。バックグラインドではウェーハの裏面を研削するため、パターン面をチャックテーブル側に真空吸着させ、研削加工を行う。また、インフィード研削では、このチャックテーブルが自転運動をしながら加工を行う。
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