半導体用語集

表面保護テープ

英語表記：protection tape

ウェーハのパターン部分を保護する粘着シートのこと。パターン面とチャックテーブルとの直接接触を防ぎ、研削時に生じる研削屑や脱落した砥粒によってパターンが汚染されることを防ぐために用いられる。


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