半導体用語集
表面汚染
英語表記：surface contamination
ウェーハの表面に、加工精度やデバイス特性に悪影響を及ぼす物質が付着していること。表面に付着したパーティクル、有機分子、金属不純物に加え、最近では自然酸化膜も洗浄対象に含めることがある。
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