半導体用語集
界面活性剤添加洗浄薬品
英語表記：surfactant added cleaning chemical
ウェーハ洗浄処理時の液濡れ性向上やウェーハ表面のマイクロラフネス増大を抑制する目的で界面活性剤を添加した洗浄用薬品。バッファド（緩衝）ふっ酸（ふっ酸にふっ化アンモニウムを混合したSiO2エッチング液。BHFと略称することがある）、アンモニア水、コリン水溶液が市販されている。
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