半導体用語集
ソータ
英語表記：sorter
被測定デバイスをテスト結果に従って分類し、指定された場所に収納する機構。
関連製品
EFEM・ソータ
PHT株式会社
クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 搬送／ハンドリング装置 › EFEM／ソータ
Spartan Sorter
Brooks Automation Inc.
高信頼性・高生産性のEFEM/ソータ―
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 搬送／ハンドリング装置 › EFEM／ソータ
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