ソータの製品一覧
EFEM・ソータ
PHT株式会社
クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。
Freedomシリーズ
平田機工株式会社
実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応EFEM/ソータ
Vision LEAP Loadport
Brooks Automation Inc.
同社の最新ロードポート
Spartan Sorter
高信頼性・高生産性のEFEM/ソータ―
FOUPロードポートTAS300
TDK株式会社
徹底したクリーン化性能、信頼性設計を実現したロードポー
SELOP-8
シンフォニアテクノロジー株式会社
1xnmプロセス対応のN2パージ機構搭載ロードポート
「ACE」シリーズ
ローツェ株式会社
EFEM/ソーター
SOPHI-30
株式会社アルバック
低加速・高濃度対応のイオン注入装置(中電流イオン注入装置)
関連用語
関連特集
「ソータ」の関連企業一覧
「ソータ」に関連する企業が存在しません。
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
SNS
特集
お知らせ