半導体用語集
ダウンフロー型アッシング装置 ダウンストリーム型アッシング装置
英語表記：down flow asher down stream achere
ウェーハ処理室とガス励起室（プラズマ放電室）を分離し、荷電粒子を取り除いた反応種（ラジカル）のみによりアッシングを行う装置。
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