半導体用語集
誤作動防止バルブ制御システム
英語表記：error operation free valve control system
半導体製造システムから発生する様々な電磁ノイズによって生じる、ガス供給システムに用いられる自動バルブなどの誤作動を防止するシステム。各々のバルブなどの部品を個別にコード化し、制御系から発信されるコードと一致した場合にのみ動作させるようにした設備。
関連製品
「誤作動防止バルブ制御システム」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「誤作動防止バルブ制御システム」に関連する用語が存在しません。
「誤作動防止バルブ制御システム」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
