半導体用語集
高周波ワークコイル
英語表記：radio frequency workcoil
Si、GaAsなどの半導体ウェーハを加熱する際に、これらを搭載する被加熱物体（サセプタ）を加熱するため、その近傍に配置される誘導コイル。誘導コイルに高周波電力を印加し、導体である被加熱物体が電磁誘導によって生ずる過電流で熱発生することを利用する。
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