半導体用語集
光化学洗浄装置 UVオゾン洗浄装置 紫外線オゾン洗浄装置
英語表記：photo-chemical cleaning equipment
酸素を含む雰囲気中にある汚染面に、200nmより短い波長を含む光を照射して、洗浄物表面の有機汚染物を酸化分解除去する装置。
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