半導体用語集
メカノケミカル現象
英語表記：mechano-chemistry
固体、液体、気体に加えられた機械的エネルギー（圧縮、摩擦、せん断、曲げ、衝撃など）により、物質の物理化学的性質の変化が誘起されることをメカノケミカル現象という。機械的エネルギーを加えた結果、活性を発生する原因は、結晶格子の歪、無定形化、表面における格子欠陥、局所的高温高圧状態、エキソエレクトロン効果、新生面の生成など様々なケースが考えられている。このメカノケミカル現象を積極的に利用した研磨加工をメカノケミカル加工と称し、硬い工具で加工するものをメカノケミカルラッピング、やわらかい工具で加工するものをメカノケミカルポリシングという。また、被加工物と砥粒との固相反応を利用した乾式のメカノケミカル加工のほか、被加工物と研磨剤中の加工液との固液相反応を利用した湿式メカノケミカル加工がある。前者ではシリカ微粒子によるサファイアの加工、後者ではアルカリ性溶液によるシリコンの加工が典型例である。
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