半導体用語集
カットラインチェック カーフチェック
英語表記：kerf inspection
ダイシング中に画像認識装置により切溝（カーフ）の位置、幅及びチッピング等を自動的に検査する機能。その結果に応じて自動補正の実行又は警報発生を行う。
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